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邁可諾技術有限公司
主營產品： 美國Laurell勻膠機,WS1000濕法刻蝕機,Cargille光學凝膠,EDC-650顯影機,NOVASCAN紫外臭氧清洗機 |
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閱讀：207 發布時間：2020/10/19
等離子去膠辦法，去膠氣體為氧氣。其工作原理是將硅片置于真空反應系統中，通入少量氧氣，加到1500V高壓，由高頻信號發生器產生高頻信號，使石英管內形成強的電磁場，使氧氣電離，形成氧離子、活化的氧原子、氧分子和電子等混合物的等離子體的輝光柱。活化氧（活潑的原子態氧）可迅速地將聚酰亞胺膜氧化成為可揮發性氣體，被機械泵抽走，這樣就把硅片上的聚酰亞胺膜去除了。等離子去膠的優點是去膠操作簡單、去膠效率高、表面干凈光潔、無劃痕、成本低、環保。
Tergeo等離子系統可以測量等離子發射光強度。等離子體發射光隨不同的氣體種類而變化很大。在氧等離子體光致抗蝕劑灰化過程中，會產生CO，CO2，H2O型副產物，這會大大改變等離子體的發射強度。因此，可以通過監視等離子體發射強度來監視灰化過程的進度。
